場發(fā)射掃描電鏡測試
簡要描述:場發(fā)射掃描電鏡測試利用場發(fā)射電子槍產(chǎn)生高能量的電子束,當電子束與樣品相互作用時,會產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號。二次電子主要來自樣品表面淺層,對樣品表面形貌非常敏感,可用于觀察樣品的表面細節(jié);背散射電子則與樣品原子序數(shù)有關,通過分析背散射電子的信號可以了解樣品表面不同區(qū)域的成分差異。
所屬分類:掃描電鏡測試
更新時間:2025-01-13
廠商性質:其他
品牌 | 優(yōu)爾鴻信 |
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優(yōu)爾鴻信檢測實驗室配有場發(fā)射掃描電鏡、鎢絲燈掃描電鏡、FIB聚焦離子束、工業(yè)CT、超聲波C-SAM等電子元件及半導體檢測設備,可針對電子元件,半導體部件進行質量檢測和失效分析服務。
場發(fā)射掃描電鏡測試性能特點
高分辨率:可達到納米甚至亞納米級的分辨率,能夠清晰地觀察到樣品表面的微觀結構和細節(jié)。
高放大倍數(shù):放大倍數(shù)通常在 10-100 萬倍之間連續(xù)可調,可根據(jù)需要選擇合適的放大倍數(shù)觀察樣品。
良好的景深:可以獲得具有立體感的樣品表面圖像,對于觀察粗糙或不規(guī)則的樣品表面非常有利。
多功能性:除了觀察形貌外,還可配備能譜儀、電子背散射衍射儀等附件,進行元素分析、晶體結構分析等。
低電壓成像能力:在低加速電壓下也能獲得高質量的圖像,可用于觀察對電子束敏感的樣品。
場發(fā)射掃描電鏡測試應用領域
材料科學領域
材料微觀結構研究:分析金屬、陶瓷、高分子等材料的晶粒尺寸、形狀、分布及晶界特征等,如研究納米金屬材料的晶粒大小和生長形態(tài),幫助優(yōu)化材料的制備工藝,提高材料性能。
材料表面形貌觀察:觀察材料在制備、加工或使用過程中的表面形貌變化,如金屬材料的磨損表面、腐蝕表面,了解材料的損傷機制,為材料的防護和使用壽命預測提供依據(jù)。
復合材料界面分析:觀察復合材料中不同相之間的界面結合情況,如碳纖維增強樹脂基復合材料中碳纖維與樹脂的界面結合狀態(tài),為提高復合材料的性能提供指導。
半導體行業(yè)
半導體器件制造與檢測:在半導體芯片制造過程中,用于觀察光刻圖案的精度、刻蝕效果、薄膜的均勻性等,如檢測芯片表面的光刻線條是否清晰、有無缺陷,及時發(fā)現(xiàn)制造過程中的問題,提高芯片的良品率。
半導體材料研究:分析半導體材料的晶體結構、缺陷分布、雜質沉淀等,如研究硅材料中的位錯、雜質團簇等缺陷對半導體性能的影響,為半導體材料的研發(fā)和質量控制提供重要信息。
地質與礦物學領域
礦物形貌與結構分析:觀察礦物的晶體形態(tài)、解理、斷口等特征,如石英、長石等常見礦物的晶體形貌,為礦物的鑒定和分類提供依據(jù)。
巖石微觀結構研究:分析巖石的孔隙結構、礦物顆粒的排列方式、膠結物的形態(tài)等,了解巖石的物理性質和力學性能,為石油勘探、地質工程等提供基礎數(shù)據(jù)。
納米科技領域
納米材料制備與表征:用于觀察納米材料的尺寸、形狀、分散性等,如碳納米管的管徑、長度、管壁結構,以及納米顆粒的粒徑分布和團聚狀態(tài)等,指導納米材料的合成和制備工藝優(yōu)化。
納米器件研究:觀察納米器件的結構和性能,如納米傳感器、納米電子器件等的微觀結構和界面特性,為納米器件的設計和性能改進提供依據(jù)。
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